1 中国科学院上海光学精密机械研究所上海市全固态激光器与应用技术重点实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学材料与光电研究中心, 北京 100049
3 中国科学院上海光学精密机械研究所中科院强激光材料重点实验室, 上海 201800
基于掺镱光纤激光放大器理论模型,分析了光纤放大器中掺镱光纤弯曲半径对模式传输损耗的影响以及掺镱光纤长度对系统光-光转换效率的影响。结合实验中采用的掺镱光纤的特点,对掺镱光纤的弯曲半径及光纤长度进行了优化设计。基于主振荡放大结构中,种子光源的输出功率为170 W,光束质量为 M2x=1.10, M2y=1.05;放大器采用双端抽运的方式,使用自研30/600 μm掺镱光纤,最终实现了输出功率为10.14 kW,中心波长为1070.36 nm,3 dB带宽为5.32 nm的全光纤激光输出,光束质量为 M2x=3.12, M2y=3.18。放大级最大光-光转换效率为87.9%,斜率效率为89.2%,输出激光信噪比大于45 dB。
光纤光学 光纤放大器 掺镱光纤 主振荡放大 双端抽运 高效率 中国激光
2020, 47(10): 1006001
1 中国科学院上海光学精密机械研究所上海市全固态激光器与应用技术重点实验室， 上海 201800
2 中国科学院大学材料与光电研究中心， 北京 100049
3 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室， 上海 201800
基于自主研发的大模场增益光纤和无源器件，采用双端抽运技术，搭建了一台全国产化10 kW 光纤激光器，实现了非线性效应抑制。该激光器的功率放大器的输出功率达到10.14 kW，中心波长为1070.36 nm，3 dB光谱带宽为5.32 nm。其主放大级最大光-光转换效率为87.8%，斜率效率为89.2%，成为目前国内报道的效率最高的10 kW级光纤激光器。
激光器 掺镱光纤 主振荡放大 高效率
Author Affiliations
Abstract
1 Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China
2 Shanghai Key Laboratory of All Solid-state Laser and Applied Techniques, Shanghai 201800, China
Accurate and precise wavelength controlling of narrowband excimer lasers is essential for the lithography of an integrated circuit. High-precision wavelength tuning and calibration of a line-narrowed ArF laser are presented in this work. The laser spectrum is narrowed to a sub-picometer with a line narrowing system. Absolute wavelength calibration of the line-narrowed laser is performed based on the optogalvanic (OG) effect using iron hollow cathode discharge (HCD). An sccuracy of better than 0.1 pm for wavelength tuning and calibration is achieved with our homemade wavemeter.
140.2180 Excimer lasers 150.1488 Calibration 300.6440 Spectroscopy, optogalvanic 300.3700 Linewidth Chinese Optics Letters
2017, 15(7): 071402
